ALIO 系列精密定位平台
国科东方代理美国ALIO公司精密定位平台系列产品，欢迎用户来电来函垂询相关技术资料。
美国ALIO公司的高科技精密平台产品，采用压电陶瓷马达，直线和旋转运动达到纳米级的精密定位。产品特点：高分辨率（5nm）、高精度、行程大、整定时间小、无迟滞现象、不产生电磁干扰、适用于多种工作环境（大气、真空）。
产品分类如下:
并联结构精密工作台
分辨率5nm, Z轴行程15mm—200mm, 最大运动速度200mm/秒，负载0.25kg-20kg，6个自由度或3个自由度运动。 |
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| Single Sided Motor Hexapods |
| 型号 |
AI-HEX-HR2-SS |
AI-HEX-HR4-SS |
AI-HEX-HR8-SS |
| Z轴行程 |
25mm |
45mm |
60mm |
| 标准Z轴负载力 |
54 N |
96 N |
192 N |
| 分辨率 |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
| 最大速度 |
200 mm/sec |
200 mm/sec |
200 mm/sec |
| 沿XYZ轴运动角度 |
+/- 20 deg. |
+/- 20 deg. |
+/- 20 deg. |
| 尺寸（mm） |
Φ204 / 129 to 154 height
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Φ265 / 193 to 238 ht
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Φ295 / 188 to 248 ht
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| Dual and Quad Motor Hexapods |
| 型号 |
AI-HEX-HR2 |
AI-HEX-HR4 |
AI-HEX-HR8 |
AI-HEX-HR8-D |
| Z轴行程 |
50 mm |
55 mm |
105mm |
175 mm |
| 标准Z轴负载力 |
96 N |
192 N |
384 N |
768 N |
| 分辨率 |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
| 最大速度 |
200 mm/sec |
200 mm/sec |
200 mm/sec |
200 mm/sec |
| 沿XYZ轴运动角度 |
+/- 18 degrees |
+/- 18 degrees |
+/- 20 degrees |
+/- 20 degrees |
| 尺寸（mm） |
Φ295 / 183 to 233 ht |
Φ331 / 189 to 244 ht |
Φ475 / 340 to 445 ht |
Φ762 / 511 to 686 ht |
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| Tripod Hexapods |
| 型号 |
AI-TRI-HR2-SS |
AI-TRI-HR2 |
AI-TRI-HR4 |
AI-TRI-HR8 |
| Z轴负载力 |
24 N |
48 N |
96 N |
192 N |
| Z轴行程 |
27.5 mm |
45 mm |
45 mm |
100 mm |
| 沿XY轴运动角度 |
+/- 30deg |
+/- 30deg |
+/- 28deg |
+/- 30deg |
| 分辨率 |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
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